1. उच्च कठोरता{{1}से{{2}उच्च गति गतिशीलता के लिए वजन अनुपात
लिथोग्राफी और बॉन्डिंग में, घटकों को शून्य अंतराल के साथ उच्च गति पर चलना चाहिए। उन्नत सिरेमिक स्टील की तुलना में काफी हल्का होने के साथ-साथ अत्यधिक कठोरता (हाई यंग मापांक) प्रदान करता है। यह जड़ता को कम करता है, वेफर हैंडलिंग सिस्टम में स्थिति सटीकता से समझौता किए बिना तेज त्वरण और मंदी की अनुमति देता है।
2. बेजोड़ तापीय चालकता और स्थिरता
सेमीकंडक्टर प्रक्रियाएँ स्थानीयकृत ऊष्मा उत्पन्न करती हैं। सिलिकॉन कार्बाइड जैसी सामग्रियां उत्कृष्ट तापीय चालकता प्रदान करती हैं, स्थानीय विरूपण को रोकने के लिए गर्मी को तुरंत नष्ट कर देती हैं। यह सुनिश्चित करता है कि सिरेमिक वैक्यूम चक और वेफर चरण पूरी तरह से सपाट रहें, महत्वपूर्ण यूवी एक्सपोज़र चरणों के दौरान फोकल प्लेन को बनाए रखें।
3. पहनने का प्रतिरोध और रासायनिक जड़ता
चीनी मिट्टी की चीज़ें लगभग हीरे जितनी ही कठोर होती हैं। यह घिसावट प्रतिरोध यह सुनिश्चित करता है कि गतिशील भागों में कण उत्पन्न किए बिना अविश्वसनीय रूप से लंबी सेवा जीवन हो। इसके अलावा, उनकी रासायनिक जड़ता उन्हें कठोर नक़्क़ाशी गैसों और फ्रंट एंड सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण में उपयोग किए जाने वाले सफाई एजेंटों के साथ संगत बनाती है।
सिरेमिक सामग्री तुलना
| संपत्ति | एलुमिना (Al2O3) | सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) |
| विकर्स कठोरता | 1500 एच.वी | 2500+ एचवी |
| लोचदार मापांक | 350 जीपीए | 450 जीपीए |
| थर्मल कंडीशन. | 30 W/m·K | 150+ W/m·K |
अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न: मुख्य प्रश्नों के उत्तर दिए गए
एल्युमिना के स्थान पर SiC का उपयोग क्यों करें? SiC में उच्च कठोरता और बेहतर तापीय चालकता है, हालांकि यह अधिक महंगा है।
क्या सिरेमिक हिस्से नाजुक होते हैं? भंगुर होते हुए भी, उनकी संपीड़न शक्ति बहुत अधिक होती है, जो उन्हें सटीक भार के लिए आदर्श बनाती है।
कौन से उद्योग इन चीनी मिट्टी का उपयोग करते हैं? मुख्य रूप से सेमीकंडक्टर, एयरोस्पेस और लेजर कटिंग उद्योग।
क्या आप कस्टम सिरेमिक आकृतियाँ बना सकते हैं? हाँ, हम जटिल यांत्रिक घटकों के लिए कस्टम OEM सिरेमिक मशीनिंग की पेशकश करते हैं।
अधिकतम आकार क्या है? हम खंडित बॉन्डिंग के माध्यम से 1000 मिमी या उससे अधिक तक के बड़े पैमाने पर सिरेमिक संरचनात्मक भागों का उत्पादन कर सकते हैं।
क्या सिरेमिक को विशेष सफाई की आवश्यकता होती है? वे रसायनों के प्रति अत्यधिक प्रतिरोधी हैं, जिससे उन्हें साफ-सुथरे कमरे में उपयोग के लिए साफ करना बहुत आसान हो जाता है।