एक लिथोग्राफी या वेफर निरीक्षण उपकरण बिल्डर के फर्श पर चलें और आपको कुछ अजीब दिखाई देगा: भारी इंजीनियरिंग प्रयास प्रकाशिकी, चरणों, सॉफ्टवेयर में जाता है और फिर एक विशाल काले पत्थर का ब्लॉक इसके नीचे बैठता है, जो कुछ भी नहीं जैसा दिखता है। वह ब्लॉक आम तौर पर वह कारण होता है जिससे मशीन का बाकी हिस्सा अपनी विशिष्टता को प्रभावित कर सकता है।
गर्मी वह दुश्मन है जिसे कोई नहीं देख पाता
एक चरण जो वेफर को उप-{0}}माइक्रोन सटीकता पर रखता है वह नाटकीय घटनाओं के कारण विफल नहीं होता है। यह बेस प्लेट पर आधे-अधूरे तापमान के उतार-चढ़ाव के कारण विफल हो जाता है, जिस पर किसी ने तब तक ध्यान नहीं दिया जब तक कि अंशांकन रिपोर्ट गलत नहीं आ गई। धातु ग्रेनाइट की तुलना में कहीं अधिक तापमान पर फैलती और सिकुड़ती है, और यदि मशीन का एक किनारा मोटर या खिड़की के पास बैठता है तो यह असमान रूप से होता है। ग्रेनाइट का कम तापीय विस्तार गुणांक, इसके द्रव्यमान के साथ मिलकर, इसका मतलब है कि यह परिवेश के तापमान में धीरे-धीरे और - अधिक महत्वपूर्ण रूप से - समान रूप से प्रतिक्रिया करता है। यह पूर्वानुमेयता ही है जो एक मशीन निर्माता को गतिशील लक्ष्य का पीछा करने के बजाय सॉफ्टवेयर में थर्मल बहाव की भरपाई करने देती है।
कितना वास्तविक तापमान-नियंत्रित दुकान की आवश्यकता है
यहीं पर बहुत सारे खरीदार आश्चर्यचकित हो जाते हैं। निर्माण एग्रेनाइट आधारयह केवल पत्थर को काटने और चमकाने का ही काम नहीं है - पर्यावरण, यह पत्थर के समान ही मामलों में तैयार और मापा जाता है। एक गंभीर स्थिरांक{{2}तापमान, स्थिरांक{{3}आर्द्रता कार्यशाला में आम तौर पर शामिल होता है:
आस-पास की इमारत से अलग एक नींव, अक्सर परिधि के चारों ओर समर्पित एंटी-कंपन खाइयों के साथ (500 मिमी x 2000 मिमी की सीमा में चौड़ाई और गहराई असामान्य नहीं होती है) ताकि फोर्कलिफ्ट या पास के प्रेस से फर्श-जनित कंपन को माप क्षेत्र तक पहुंचने से रोका जा सके।
प्रबलित कंक्रीट फर्श इतना मोटा है कि - आमतौर पर एक मीटर या अधिक - है ताकि ओवरहेड क्रेनों के वजन के नीचे झुकने से बचने के लिए कई टन पत्थर के खाली हिस्से को ले जाया जा सके।
ओवरहेड क्रेनें मौन रहती हैं, क्योंकि एक मानक क्रेन का मोटर कंपन अकेले ही एक नैनोमीटर माप के मध्य में {{0}स्केल समतलता जांच को विफल करने के लिए पर्याप्त हो सकता है।
सख्त आर्द्रता नियंत्रण, क्योंकि नमी पत्थर की सतह के व्यवहार और इसे सत्यापित करने के लिए उपयोग किए जाने वाले ऑप्टिकल और इलेक्ट्रॉनिक गेज की सटीकता दोनों को प्रभावित करती है।
कुछ निर्माता एक कदम आगे बढ़ते हैं और फैक्ट्री छोड़ने से पहले ग्रेनाइट संरचनात्मक घटकों को इकट्ठा करने के लिए अनिवार्य रूप से सेमीकंडक्टर फैब अनुशासन को उधार लेते हुए एक समर्पित क्लीनरूम {{0}आसन्न असेंबली क्षेत्र - का निर्माण करते हैं।
यह अधिक क्यों मायने रखता है क्योंकि उपकरण छोटे होते जा रहे हैं
जैसे-जैसे वेफर ज्यामिति सिकुड़ती जाती है और मेट्रोलॉजी सहनशीलता कड़ी होती जाती है, "काफी करीब" आधार के लिए मार्जिन मूल रूप से गायब हो गया है। XY टेबल, रैखिक मोटर प्लेटफ़ॉर्म, और AOI (स्वचालित ऑप्टिकल निरीक्षण) सिस्टम सभी एक नींव पर निर्भर करते हैं जो माप श्रृंखला में अपनी त्रुटि पेश नहीं करता है। एक आधार जो फैक्ट्री छोड़ते समय सपाट था, लेकिन उचित रूप से नियंत्रित वातावरण में मापा या इकट्ठा नहीं किया गया था, उसमें छिपा हुआ तनाव या थर्मल इतिहास हो सकता है जो उत्पादन उपयोग में छह महीने के बहाव के रूप में दिखाई देता है।
आपूर्तिकर्ताओं से पूछने के लिए एक व्यावहारिक प्रश्न
यदि आप सेमीकंडक्टर या सटीक ऑप्टिकल उपकरण के लिए ग्रेनाइट आधार निर्दिष्ट कर रहे हैं, तो यह सीधे पूछने लायक है: क्या इस टुकड़े को तापमान - और कंपन {{1}नियंत्रित वातावरण में मापा और तैयार किया गया था, और क्या आप मुझे पर्यावरण लॉग दिखा सकते हैं? एक आपूर्तिकर्ता जो वास्तविक डेटा के साथ इसका उत्तर दे सकता है - न कि केवल एक मार्केटिंग दावा -, वह आपको इस बारे में कुछ वास्तविक बता रहा है कि एक बार आपकी मशीन में लगने के बाद वह भाग कैसा व्यवहार करेगा।
सामान्य बातचीत में ग्रेनाइट को एक वस्तु सामग्री के रूप में माना जाता है, लेकिन सेमीकंडक्टर {{0}आसन्न विनिर्माण में, जिस कार्यशाला में इसे बनाया गया था वह यकीनन पत्थर जितना ही महत्वपूर्ण है।